产品适用于 Si、SiC、GaAs、InP、GaN、蓝宝石(Sapphire)、玻璃(Glass)、金属(Metal)等多种材料,覆盖1 次研磨、2 次研磨、最终研磨(精密研磨)三个阶段。
CIEGAL 研磨垫产品详细参数与特征
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CIEGAL 型号 |
适用材料(application) |
1 次研磨 |
2 次研磨 |
最终研磨 |
产品特征(feature) |
厚度(Thickness) |
硬度(Hardness) |
毛长(Nap length) |
开口径(Pore size) |
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7355-000FE |
Si CMP、SiC、Ge、Glass |
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〇 |
仕上げ研磨标准(final polishing standard) |
1.49mm |
58° |
530μm |
65μm |
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7355-000ZCM |
Si、CMP |
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〇 |
开口径小、短毛(small pore, short nap) |
1.30mm |
61° |
400μm |
45μm |
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PS8000 |
Si、GaAs、InP、CMP |
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〇 |
高通用性(high versatility) |
1.50mm |
55° |
530μm |
70μm |
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PS8410-VFB2 |
GaAs、InP |
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〇 |
开口径小、长毛(small pore, long nap) |
1.85mm |
56° |
700μm |
45μm |
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183 (183EX) |
Si、Crystal、Metal、Sapphire |
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〇 |
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高硬度、高研磨力(high hardness, high rate) |
1.37mm |
70° |
500μm |
80μm |
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193 (193EX) |
Si、GaAs、SiC |
|
〇 |
〇 |
安定研磨能力(stable polishing ability) |
1.45mm |
58° |
500μm |
80μm |
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PS1200 |
Glass |
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〇 |
表面柔软、酒红色(soft surface, wine color) |
0.80mm |
58° |
500μm |
50μm |
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7355-000FE-SL0.8t |
Glass |
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〇 |
薄型标准(thin standard) |
0.80mm |
58° |
530μm |
65μm |
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XA-5 |
Si、Glass |
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〇 |
表面柔软、白色绒面(soft surface, white suede) |
1.45mm |
55° |
530μm |
40μm |
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MP210 |
Metal |
|
〇 |
〇 |
薄型薄膜基材绒面(thin film-based suede) |
0.64mm |
79° |
400μm |
80μm |
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PV6600 |
Lt、Ln、Metal、Sapphire |
〇 |
〇 |
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2 次研磨标准(2nd polishing standard) |
1.13mm |
78° |
— |
— |
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PV2800 |
Si、GaAs、Sapphire |
〇 |
〇 |
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高硬度(high hardness) |
1.35mm |
85° |
— |
— |
|
PV2900 |
Si、Sapphire |
〇 |
〇 |
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最高硬度(highest hardness) |
1.35mm |
90° |
— |
— |
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U-3500SPN |
Glass |
〇 |
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含铈(contains cerium) |
1.50mm |
80° |
— |
— |
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U-3500PN |
Glass、Crystal |
〇 |
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含铈、开口径小(contains cerium, small pore) |
1.50mm |
90° |
— |
— |
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U-2500 |
SiC、Sapphire、GaN |
〇 |
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无铈、开口径小(cerium free, small pore) |
1.50mm |
90° |
— |
— |
SURFIN系列抛光垫
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品名 |
类型 |
总厚度 (μm) |
绒层厚度 (μm) |
硬度 (Shore‑A) |
开孔径 (μm) |
最大幅宽 (mm) |
核心特性 |
主要用途 |
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SURFIN XXX-5 |
不织布型 |
1310 |
- |
64 |
- |
1400 |
硬质结构,中高压适配,压缩性与孔隙率配比最优,不易堵塞,平坦度高,使用寿命长 |
GaAs、InP 一次研磨(粗磨);LT、LN 材料研磨 |
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SURFIN 018-3 |
麂皮型 |
1385 |
464 |
68 |
83 |
1480 |
发泡聚氨酯材质,特殊表面处理,起抛快速,耐酸碱,研磨稳定,无橘皮缺陷 |
硬盘、硅片二次抛光;铝、镍等金属盘研磨 |
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SURFIN 000 |
麂皮型 |
1377 |
448 |
65 |
68 |
1480 |
聚氨酯层极柔软,微多孔精细结构,无雾度、无尖峰,终抛品质优异 |
硅片终抛、玻璃材料终抛 |
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SURFIN SSW-1 |
麂皮型 |
1483 |
541 |
57 |
67 |
1480 |
SURFIN 000 升级款,绒面更长,起抛时间更短,无雾度高品质表面 |
硅片、GaAs、InP 材料终抛 |
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SURFIN 191 |
麂皮型 |
1140 |
510 |
43 |
55 |
1000 |
胶黏工艺结合发泡层与基布,品质稳定性突出,可适配多种抛光工况 |
GaAs、InP 材料终抛 |

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