产品概述
SURFIN 是株式会社千代田（CHIYODA）专为超精密表面加工研发的高端抛光垫，可广泛应用于硅片、各类半导体晶体材料、金属及玻璃等材质的高精度抛光作业。产品以打造无划痕、无损伤、零缺陷的超精密抛光面为核心设计目标，凭借稳定的研磨性能、优异的材料适配性与耐用性，成为半导体、电子元器件、精密光学等领域的理想加工耗材，同时支持定制裁切、卷材、背胶款等多种供货形式，满足不同设备安装与生产场景需求。
产品核心优势
超精密抛光效果
从材质结构到工艺设计全面优化，可实现无划痕、无损伤、无雾度、无尖峰的极致抛光表面，杜绝橘皮等外观缺陷，保障工件加工品质。稳定耐用的使用性能
不织布款适配中高压工况，不易堵塞、平坦度保持能力强；麂皮款采用发泡聚氨酯材质，耐酸碱、起抛速度快，研磨效率与表面一致性优异。灵活的定制化方案
支持按需裁切尺寸、卷材供应，可选配背面双面胶膜，大幅简化设备贴装流程，提升生产效率。严苛的品质管控
部分型号采用胶黏工艺替代传统直压工艺，发泡层与基布结合更稳固，产品批次稳定性更强，可适配多样化抛光条件。
全系列产品参数与特性
品名 | 类型 | 总厚度 (μm) | 绒层厚度 (μm) | 硬度 (Shore‑A) | 开孔径 (μm) | 最大幅宽 (mm) | 核心特性 | 主要用途 |
SURFIN XXX-5 | 不织布型 | 1310 | - | 64 | - | 1400 | 硬质结构，中高压适配，压缩性与孔隙率配比最优，不易堵塞，平坦度高，使用寿命长 | GaAs、InP 一次研磨（粗磨）；LT、LN 材料研磨 |
SURFIN 018-3 | 麂皮型 | 1385 | 464 | 68 | 83 | 1480 | 发泡聚氨酯材质，特殊表面处理，起抛快速，耐酸碱，研磨稳定，无橘皮缺陷 | 硬盘、硅片二次抛光；铝、镍等金属盘研磨 |
SURFIN 000 | 麂皮型 | 1377 | 448 | 65 | 68 | 1480 | 聚氨酯层极柔软，微多孔精细结构，无雾度、无尖峰，终抛品质优异 | 硅片终抛、玻璃材料终抛 |
SURFIN SSW-1 | 麂皮型 | 1483 | 541 | 57 | 67 | 1480 | SURFIN 000 升级款，绒面更长，起抛时间更短，无雾度高品质表面 | 硅片、GaAs、InP 材料终抛 |
SURFIN 191 | 麂皮型 | 1140 | 510 | 43 | 55 | 1000 | 胶黏工艺结合发泡层与基布，品质稳定性突出，可适配多种抛光工况 | GaAs、InP 材料终抛 |
适用领域
SURFIN 抛光垫覆盖半导体晶圆加工、硬盘制造、精密金属研磨、光学玻璃抛光等核心场景，从粗磨、二次抛光到最终精抛全流程适配，满足不同材料、不同工艺阶段的高精度加工需求，为高端制造领域提供可靠的表面处理解决方案。
理珀（上海）新材料有限公司是日本千代田（CHIYODA）抛光垫中国区代理，欢迎联系交流！
